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產(chǎn)品名稱:芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào):P16

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái) P16壓電掃描臺(tái)為XY軸平移掃描臺(tái),機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,中心通孔孔徑為20mm,該系列掃描臺(tái)有50μm與100μm兩種規(guī)格行程 可選,開環(huán)閉環(huán)可選。方形移動(dòng)臺(tái)面,便于與外部機(jī)械結(jié)構(gòu)安裝連接。

更新日期:2022-08-25

P16芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)的詳細(xì)資料:

   芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái) P16壓電掃描臺(tái)為XY軸平移掃描臺(tái),機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,中心通孔孔徑為20mm,該系列掃描臺(tái)有50μm與100μm兩種規(guī)格行程 可選,開環(huán)閉環(huán)可選。方形移動(dòng)臺(tái)面,便于與外部機(jī)械結(jié)構(gòu)安裝連接。

P16壓電掃描臺(tái)特性

•大位移100μm

• 大承載1.5kg

• 通孔尺寸:Ø20mm

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 開環(huán)閉環(huán)可選

剛度大、諧振頻率高、負(fù)載能力大

    P16系列壓電掃描臺(tái),采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,內(nèi)置高性 能壓電陶瓷,兩個(gè)規(guī)格型號(hào)掃描臺(tái)分別可實(shí)現(xiàn)50μm與100μm 的運(yùn)動(dòng)行程,一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)XY軸運(yùn)動(dòng)無耦合,優(yōu)異的結(jié)構(gòu) 可以承載1.5kg的負(fù)載,空載諧振頻率達(dá)400Hz。

    P16.XY100版本為中心對(duì)稱運(yùn)動(dòng)方式,需配套帶有一通道 恒壓的三通道壓電控制器。

   P16二維壓電掃描臺(tái)中心通孔尺寸Ø20mm,該系列壓電 掃描臺(tái)以其小體積、大負(fù)載、高動(dòng)態(tài)等特性廣泛應(yīng)用于顯微成 像等領(lǐng)域。

芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)P16壓電掃描臺(tái)典型應(yīng)用

• 顯微成像 • 表面檢測(cè)

• 干涉/計(jì)量 • 精密定位

• 光學(xué) • 微操作

應(yīng)用實(shí)例

    P16.XY二維壓電掃描臺(tái)以其大承載、高頻率等特點(diǎn),應(yīng)用于光 路調(diào)整實(shí)驗(yàn)中,帶載大鏡架做XY軸精密運(yùn)動(dòng)。

P16壓電掃描臺(tái)技術(shù)參數(shù):

 

 

型號(hào)

 

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

 

P16.XY50S P16.XY50K

 

P16.XY100S P16.XY100K

 

單位

運(yùn)動(dòng)自由度

X、Y

X、Y

 

標(biāo)稱行程范圍(0~120V)

40/軸

80或±40/軸

μm±20%

大行程范圍(-20~150V)

55/軸

100或±50/軸

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

SGS/-

 

通孔尺寸

Ø20

Ø20

mm

閉/開環(huán)分辨率

10/5

10/5

nm

閉環(huán)線性度

0.4/-

0.4/-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.1/-

0.1/-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)

<20

<25

µrad

推/拉力

30/10

30/30

N

運(yùn)動(dòng)方向剛度

X0.5/Y0.5

X0.5/Y0.5

N/μm±20%

空載諧振頻率

X200/Y200

X400/Y400

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間

10/0.8

10/1.6

ms±20%

 

閉環(huán)空載 工作頻率

10%行程

50

100

 

Hz±20%

行程

20

40

大承載

1.5

1.5

kg

靜電容量

1.8/軸

3.6/軸

μF±20%

材質(zhì)

鋼、鋁

鋼、鋁

 

重量

200

220

g±5%

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。

 
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