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產(chǎn)品名稱(chēng):芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電位移臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào):P79Z

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電位移臺(tái) P79系列Z向樣品升降壓電掃描臺(tái)為一維Z軸微動(dòng)平臺(tái),它的移動(dòng)范圍可達(dá)210µm,定位分辨率可達(dá)3nm。

P79平臺(tái)可對(duì)樣品進(jìn)行Z軸快速精密的聚焦調(diào)節(jié),階躍時(shí)間達(dá)毫秒量級(jí)。主要用于配套宏動(dòng)XY軸運(yùn)動(dòng)掃描平臺(tái)或壓電馬達(dá)平臺(tái)使用,在宏動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行樣品位置的粗調(diào)后,再通過(guò)P79壓電掃描臺(tái)進(jìn)行樣品位置的精確調(diào)整,定位精度達(dá)納米量級(jí)。

更新日期:2022-08-18

P79Z芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電位移臺(tái)的詳細(xì)資料:

芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電位移臺(tái)

P79系列Z向樣品升降壓電掃描臺(tái)為一維Z軸微動(dòng)平臺(tái),它的移動(dòng)范圍可達(dá)210µm,定位分辨率可達(dá)3nm。

 芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電位移臺(tái)P79平臺(tái)可對(duì)樣品進(jìn)行Z軸快速精密的聚焦調(diào)節(jié),階躍時(shí)間達(dá)毫秒量級(jí)。主要用于配套宏動(dòng)XY軸運(yùn)動(dòng)掃描平臺(tái)或壓電馬達(dá)平臺(tái)使用,在宏動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行樣品位置的粗調(diào)后,再通過(guò)P79壓電掃描臺(tái)進(jìn)行樣品位置的精確調(diào)整,定位精度達(dá)納米量級(jí)。

 

兩款規(guī)格型號(hào)、開(kāi)環(huán)/閉環(huán)可選

P79系列Z向掃描臺(tái)具有兩種Z向行程范圍可供選擇,分別為110μm及210μm,可根據(jù)精確調(diào)整的運(yùn)動(dòng)范圍進(jìn)行選擇。

另外,P79系統(tǒng)可提供開(kāi)環(huán)及閉環(huán)版本。開(kāi)環(huán)版本定位速度更快,且分辨率更高;對(duì)于有定位精度及穩(wěn)定性需求的應(yīng)用,可以選擇配置SGS閉環(huán)傳感器,裝配在平臺(tái)的位置,提供高分辨率、快速響應(yīng)的傳感電壓信號(hào)給壓電控制器。全橋設(shè)計(jì)避免了溫度的漂移,確保了定位精度。

 

特性

• 一維Z向運(yùn)動(dòng),zui大行程210μm            • zui大承載2kg          • 通孔尺寸:128.5×86.5mm                  

• 開(kāi)環(huán)、閉環(huán)可選                                 • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

 

外觀形狀

產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖

臺(tái)體采用機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì),行程范圍大

 

大通孔、快速聚焦、Z向捕獲、超精密導(dǎo)向機(jī)構(gòu)

頻率負(fù)載曲線(xiàn)

表面絕緣壓電陶瓷提供長(zhǎng)使用壽命

P79系列壓電掃描臺(tái)具有方形通孔,通孔尺寸為128.5×86.5mm,這種大通孔設(shè)計(jì)主要是為了滿(mǎn)足各種樣品夾持結(jié)構(gòu),如多井控制盤(pán)。

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)以及無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)使其具有超快的響應(yīng)速度,Z軸步進(jìn)速度和穩(wěn)定時(shí)間僅為馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的1/20,大大提高了成像捕獲能力和生產(chǎn)能力。

壓電掃描臺(tái)采用高*性、高穩(wěn)定性的表面絕緣壓電陶瓷,陶瓷抵抗外部環(huán)境的能力非常高且無(wú)漏電現(xiàn)象。

 

應(yīng)用

       • 熒光顯微  • 共焦顯微  • 精密定位/樣品檢測(cè)  •光學(xué)捕獲  • 掃描顯微  • 干涉/計(jì)量  • 自動(dòng)聚焦系統(tǒng)  • 表面檢測(cè)/3D成像  • 光學(xué)計(jì)量  • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡  • 掩模/晶圓定位  • 生物科技

 
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