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產(chǎn)品名稱:芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺

產(chǎn)品型號:P12

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺 P12壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動、1~3維并聯(lián)式平移掃描臺,臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm,滿足顯微等應(yīng)用。壓 電掃描臺可以實現(xiàn)單軸320μm的位移行程,一體式結(jié)構(gòu)使得多維運動無耦合、多種規(guī)格型號可選,以滿足不同應(yīng)用的需求。

更新日期:2021-03-23

P12芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺的詳細資料:

   芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺 P12壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動、1~3維并聯(lián)式平移掃描臺,臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm,滿足顯微等應(yīng)用。壓 電掃描臺可以實現(xiàn)單軸320μm的位移行程,一體式結(jié)構(gòu)使得多維運動無耦合、多種規(guī)格型號可選,以滿足不同應(yīng)用的需求。

芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺P12壓電掃描臺特性

• 大位移320μm

• 大承載0.8kg

• 臺體中心通孔

• 閉環(huán)重復定位精度高

1~3維掃描臺

   P12系列壓電納米定位臺為1~3維直線壓電掃描臺,包 括X、Z、XY、XZ、XYZ等多種規(guī)格型號,通孔直徑25mm 或35mm可選。

小體積、大位移、中心通孔

   P12系列壓電掃描臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理,超小的體 積外形,尺寸僅為60×60×24mm,可以實現(xiàn)大320μm 的掃描范圍,中心通孔可選25mm或35mm,35mm通孔 對應(yīng)臺體外形尺寸為70×70×24mm。

   臺體采用FEA有限元分析優(yōu)化設(shè)計,具有零摩擦、超高 導向精度、納米級分辨率等優(yōu)點。

   P12系列壓電掃描臺內(nèi)置高可靠性表面絕緣壓電陶瓷, 確保了掃描臺的可靠性與穩(wěn)定性。

P12.Z300閉環(huán)穩(wěn)定時間圖 

   P12系列壓電掃描臺具有優(yōu)異的階躍穩(wěn)定性,下圖為P12.Z300 大位移320μm閉環(huán)穩(wěn)定時間圖。 

P12壓電掃描臺典型應(yīng)用

• 掃描干涉  共焦顯微

 晶圓定位  表面測量

 圖像處理與穩(wěn)定  光學捕獲

P12壓電掃描臺技術(shù)參數(shù):

 

 

型號

 

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

 

P12.X100S P12.X100K

 

P12.Z100S P12.Z100K

 

P12.Z200S P12.Z200K

 

P12.Z300S P12.Z300K

 

P12.XY100S P12.XY100K

 

P12.XYZ100S P12.XYZ100K

 

單位

運動自由度

X

Z

Z

Z

X、Y

X、Y、Z

 

標稱行程范圍(0~120V)

80

80

160

240

80/軸

80/軸

μm±20%

大行程范圍(-20~150V)

110

110

210

320

110/軸

110/軸

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

 

通孔尺寸

Ø25/Ø35

Ø25/Ø35

Ø25/Ø35

Ø25/Ø35

Ø25/Ø35

Ø25/Ø35

mm

閉/開環(huán)分辨率

7/4

7/4

7/4

11/5

7/4

7/4

nm

閉環(huán)線性度

0.05/-

0.05/-

0.1/-

0.4/-

0.05/-

0.15/-

%F.S.

閉環(huán)重復定位精度

0.01/-

0.01/-

0.03/-

0.15/-

0.03/-

0.05/-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

<10

<10

<15

<15

<10

<15

µrad

推/拉力

30/10

30/10

30/10

30/10

25/8

20/4

N

運動方向剛度

0.3

0.3

0.2

0.1

X0.25/Y0.3

X0.3/Y0.25/Z0.2

N/μm±20%

空載諧振頻率

230

220

150

100

X180/Y230

X230/Y180/Z150

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

10/0.8

10/0.8

15/1.6

30/2.4

15/0.8

30/0.8

ms±20%

 

閉環(huán)空載 工作頻率

10%行程

100

100

50

30

100

50

 

Hz±20%

行程

9

10

5

3

9

5

大承載

0.8

0.8

0.5

0.4

0.7

0.6

kg

靜電容量

1.8

1.8

3.6

5.4

1.8/軸

1.8/軸

μF±20%

材質(zhì)

鋼、鋁

鋼、鋁

鋼、鋁

鋼、鋁

鋼、鋁

鋼、鋁

 

重量

140

140

200

260

200

260

g±5%

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。

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