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XYXYZ72壓電宏微復(fù)合平臺，采用壓電粘滑原理與壓電微動技術(shù)相結(jié)合的方式,滿足XY軸mm級大行程,并且實(shí)現(xiàn)Z軸nm級的高精度。《查看更多》
三維壓電宏微復(fù)合平臺，可在XYZ三個方向產(chǎn)生運(yùn)動，每軸千分尺行程為4mm，壓電行程為18μm。《查看更多》
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