P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺 產(chǎn)品特點 X軸行程 18μm/ 軸 開 / 閉環(huán)可選 Z 向行程 8μm 開 / 閉環(huán)可選 真空版本可選 技術(shù)參數(shù)： 型號 | S-閉環(huán) K-開環(huán) | P63.X18Z8S | P63.X18Z8K | 單位 | 運動自由度 | X、Z | X、Z |
| 驅(qū)動控制 | 2路驅(qū)動，2路傳感 | 2路驅(qū)動 |
| 標稱行程范圍（0 ~+120 V） | X:16, Z:6 | X:16, Z:6 | μm±10% | Max.行程范圍（0~+150 V） | X:18, Z:8 | X:18, Z:8 | μm±10% | 傳感器類型 | SGS | - |
| 閉/開環(huán)分辨率 | X0.6 Z0.2 | X0.2 Z0.1 | nm | 閉環(huán)線性度 | X:0.3, Z:1 | - | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.25 | - | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動 | ≤15 | ≤15 | μrad | 空載諧振頻率 | X2/Z1 | X2/Z1 | KHz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 8 | 0.5 | ms±20% | 承載能力 | 0.5 | 0.5 | kg | 靜電容量 | X:1.8, Z0.8 | X:1.8, Z0.8 | μF±20% | 工作溫度范圍 | -20~80 | -20~80 | °C | 材質(zhì) | 鋁 | 鋁 |
| 出線長 | 1.5 | 1.5 | m±10mm |
P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺 尺寸圖 
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