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P33系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是具有快速響應(yīng)且體積緊湊等特點(diǎn)的偏轉(zhuǎn)平臺,提供頂端面的高精度角度運(yùn)動,與其他執(zhí)行器相比,柔性鉸鏈導(dǎo)向的 壓電偏轉(zhuǎn)平臺可提供更高的加速度,使階躍響應(yīng)時(shí)間在亞毫秒范圍。閉環(huán)與開環(huán)版本具有6個不同的偏轉(zhuǎn)范圍,大可達(dá)27mrad的光束偏 轉(zhuǎn)。《查看更多》
P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一維θx軸偏轉(zhuǎn)鏡/快反鏡,柔性鉸鏈導(dǎo)向設(shè)計(jì)具有零摩擦及靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導(dǎo)向精度。提供納弧度的分辨率 和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)8mrad, 具有極快的響應(yīng)速度(毫秒至微秒級),非常適于動態(tài)操作(例如跟蹤、掃描、漂移及 振動消除)及光學(xué)和樣品的靜態(tài)定位。《查看更多》
芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡P34系列是專為較大直徑鏡片而設(shè)計(jì),可加載直徑達(dá)80mm的鏡片,它的差分驅(qū)動在較大溫度范圍內(nèi)表現(xiàn)出非常出色的角度定位穩(wěn)定性。P34系列偏轉(zhuǎn)鏡允許頂部平臺在具有共同樞軸點(diǎn)(并聯(lián)運(yùn)動)的兩個正交軸上進(jìn)行高動態(tài)精密偏轉(zhuǎn)運(yùn)動,多種鏡片安裝面可選,以獲得對不同鏡片材料的熱適應(yīng)。開環(huán)、閉環(huán)版本可供選擇,所有版本都具有亞微弧度分辨率,且傾斜角度大可達(dá)6mrad(等于光束偏轉(zhuǎn)12mrad)。《查看更多》
P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad 是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件,內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動,補(bǔ)償量小,確保偏轉(zhuǎn)鏡具有良好的運(yùn)動精度和超高的穩(wěn)定性,通過內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制,實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。《查看更多》
p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 25mrad是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件,內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動,補(bǔ)償量小,確保偏轉(zhuǎn)鏡具有良好的運(yùn)動精度和超高的穩(wěn)定性,通過內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制,實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。《查看更多》
壓電偏轉(zhuǎn)鏡/傾斜鏡采用壓電陶瓷直推驅(qū)動,零摩擦的柔性鉸鏈為導(dǎo)向系統(tǒng)使其具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。鏡子只需要簡單的固定到偏轉(zhuǎn)臺上,可提供2毫弧度的偏轉(zhuǎn)行程。在整個偏轉(zhuǎn)行程中可達(dá)到亞微弧度的分辨率。低的移動質(zhì)量和優(yōu)異的控制系統(tǒng)可以提供良好的響應(yīng)時(shí)間和和速度。《查看更多》
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